도서 소개

반도체 8대 공정을 위주로 작성되었으며, 반도체 기초와 집적화 공정 기술을 포함하여 10장으로 구성되었다.

  출판사 리뷰

이 책은 반도체 8대 공정을 위주로 작성되었으며, 반도체 기초와 집적화 공정 기술을 포함하여 10장으로 구성되었다.

반도체 8대 공정 기술이 가장 기본이 되면서 파급력이 높으므로 초급부터 고급 수준까지 교육효과를 높일 수 있는 새로운 형태의 교재가 필요하다 생각했고, 객관식 문제집을 통해 되도록 많은 전문가를 배출하는 데 도움이 되도록 의도하였다. 세계적으로도 이 분야에 동일한 방식의 저술이 없다고 알고 있으며, 반도체 강국인 한국에서 최초로 문제지를 통한 학습과 평가의 성과를 높일 수 있는 유일한 첫 시도라는 점, 그리고 경제와 산업적으로 높은 효용성 때문에 국부적 수준에서 공헌도가 높을 것이라 기대한다.

반도체 제조 과정은 수 백 내지 수 천 공정 스텝으로 이루어지며, 이 스태프들 하나하나 연계되고 다 이유가 있고 물리화학적 원리가 배어있다. 앞의 공정 스텝이 뒤의 공정 스텝에 영향을 주고, 뒤의 공정 스텝이 앞의 공정 스텝으로 형성한 구조에 영향을 주므로 매우 복잡하다. 다만 시뮬레이션의 발달로 많은 부분 의지할 수 있지만 미래의 구조와 방식을 개발해야 할 때는 개발자가 체득해서 지니고 있는 저력이 있어야 창출을 이루어낼 수 있다. 따라서 이 책《반도체 8대 공정기술 마스터》의 문제를 풀어가는 과정에서 전문용어의 개념과 기본 원리에 대한 이해를 몸과 머리에 축적하여 마스터가 되기를 바란다.

  작가 소개

지은이 : 최철종
현재 전북대학교 반도체과학기술학과에 교수로 재직하고 있으며, 반도체 소자와 공정분야에 대한 강의를 위주로 해서 교육을 해오고 있다. 과거 한국전자통신연구원에 입사해 GaAs 화합물반도체 전자소자를 국내에서 개시한 최초의 구성원 이었고, 미국 유학파견기간에는 GaN 분야를 전공하여 박사학위를 취득했다. 다시 연구원으로 복귀한 후에 SiGe 반도체를 위주로 개발업무를 수행했으며, 2004년 전북대학교로 이직하여 SiGe, GaN, Ga2O3의 화합물반도체 분야에 지속적으로 집중하면서 연구와 교육을 이행하였다.주 전공은 반도체 소자와 공정이다. 반도체의 시조이며 주축인 실리콘반도체를 포함해서 화합물반도체를 이용하여 정전기방호 소자, 광소자, 전력소자, RF 소자와 같이 다양한 소자를 설계하고 개발하는데 가장 관심이 많다.(현)전북대학교 반도체학과 교수(전)삼성전자 종합기술원 수석연구원

지은이 : 심규환
현재 전북대학교 반도체과학기술학과에 교수로 재직하고 있으며, 반도체 소자와 공정분야에 대한 강의를 위주로 해서 교육을 해오고 있다. 과거 한국전자통신연구원에 입사해 GaAs 화합물반도체 전자소자를 국내에서 개시한 최초의 구성원 이었고, 미국 유학파견기간에는 GaN 분야를 전공하여 박사학위를 취득했다. 다시 연구원으로 복귀한 후에 SiGe 반도체를 위주로 개발업무를 수행했으며, 2004년 전북대학교로 이직하여 SiGe, GaN, Ga2O3의 화합물반도체 분야에 지속적으로 집중하면서 연구와 교육을 이행하였다.주 전공은 반도체 소자와 공정이다. 반도체의 시조이며 주축인 실리콘반도체를 포함해서 화합물반도체를 이용하여 정전기방호 소자, 광소자, 전력소자, RF 소자와 같이 다양한 소자를 설계하고 개발하는데 가장 관심이 많다.(현) (주)시지트로닉스(SIGETRONICS) 대표(현) 전북대학교 반도체학과 교수(전) 한국전자통신연구원 책임연구원

  목차

제1장 반도체 기초
제2장 산화
제3장 확산
제4장 이온주입
제5장 박막 증착
제6장 리소그라피
제7장 식각기술
제8장 금속배선
제9장 소자 공정
제10장 패키징

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