지은이 : 최철종
현재 전북대학교 반도체과학기술학과에 교수로 재직하고 있으며, 반도체 소자와 공정분야에 대한 강의를 위주로 해서 교육을 해오고 있다. 과거 한국전자통신연구원에 입사해 GaAs 화합물반도체 전자소자를 국내에서 개시한 최초의 구성원 이었고, 미국 유학파견기간에는 GaN 분야를 전공하여 박사학위를 취득했다. 다시 연구원으로 복귀한 후에 SiGe 반도체를 위주로 개발업무를 수행했으며, 2004년 전북대학교로 이직하여 SiGe, GaN, Ga2O3의 화합물반도체 분야에 지속적으로 집중하면서 연구와 교육을 이행하였다.주 전공은 반도체 소자와 공정이다. 반도체의 시조이며 주축인 실리콘반도체를 포함해서 화합물반도체를 이용하여 정전기방호 소자, 광소자, 전력소자, RF 소자와 같이 다양한 소자를 설계하고 개발하는데 가장 관심이 많다.(현)전북대학교 반도체학과 교수(전)삼성전자 종합기술원 수석연구원
지은이 : 심규환
현재 전북대학교 반도체과학기술학과에 교수로 재직하고 있으며, 반도체 소자와 공정분야에 대한 강의를 위주로 해서 교육을 해오고 있다. 과거 한국전자통신연구원에 입사해 GaAs 화합물반도체 전자소자를 국내에서 개시한 최초의 구성원 이었고, 미국 유학파견기간에는 GaN 분야를 전공하여 박사학위를 취득했다. 다시 연구원으로 복귀한 후에 SiGe 반도체를 위주로 개발업무를 수행했으며, 2004년 전북대학교로 이직하여 SiGe, GaN, Ga2O3의 화합물반도체 분야에 지속적으로 집중하면서 연구와 교육을 이행하였다.주 전공은 반도체 소자와 공정이다. 반도체의 시조이며 주축인 실리콘반도체를 포함해서 화합물반도체를 이용하여 정전기방호 소자, 광소자, 전력소자, RF 소자와 같이 다양한 소자를 설계하고 개발하는데 가장 관심이 많다.(현) (주)시지트로닉스(SIGETRONICS) 대표(현) 전북대학교 반도체학과 교수(전) 한국전자통신연구원 책임연구원
제1장 반도체 기초
제2장 산화
제3장 확산
제4장 이온주입
제5장 박막 증착
제6장 리소그라피
제7장 식각기술
제8장 금속배선
제9장 소자 공정
제10장 패키징
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