도서 소개

반도체 공정을 배우는 학생과 초급 전문가의 학습 내지 평가를 위하여 객관식의 1,000여 문제로 구성되었다. 특히 기초 원리에 대한 이해와 전문 용어에 대한 효율적 학습을 기본 목표로 하여 초급, 중급, 고급 수준이 모두 포함되었다. 반도체 8대 공정을 포함하여 10장으로 작성되었으며 각종 공정의 기초 원리와 소자 제작 공정 기술 및 응용에 대응한 실무적 유효성을 높이고자 의도하였다.

기존 반도체 공정의 텍스트들이 대부분 서술적이며 객관식 문제가 없어서 계량화된 학습의 효과를 얻는 데 한계가 있다는 점에 대해 항상 아쉬웠으며 본 책자를 구상한 계기가 되었다. 본 교재는 반도체 공정 교육이나 반도체 설계 산업기사와 같은 시험 평가 목적의 문제은행식 출제에 유용하다. 따라서 본 교재를 통달한다면 반도체 공정 분야에 이론적 기초를 다지고 반도체 과학적 원리를 습득하여 실무 과정에서 높은 수준으로 발전하기 위한 건실한 기반 마련이 가능할 것이다.

본 교재는 반도체를 전공하지 않은 비전공자들도 반도체 소재, 장비, 공정의 분야로 진출하여 마스터로 성공하기에 충분하도록 반도체 공정 기술에 대한 기반을 다지는 데 유용할 것이다. 미래 반도체 공정 분야에 관심이 많은 후학이 마스터가 되어 반도체 산업의 전문가로서 세계적 성과를 창출하여 국가 산업과 사회의 발전에 기여할 것이다.

  출판사 리뷰

도체 산업이 국가 경쟁력의 핵심으로 떠오르면서, 반도체 공정에 대한 이해와 문제 해결 능력이 더욱 중요해지고 있다. 『반도체 8대 공정 마스터』는 단순히 개념을 암기하는 것이 아니라, 문제를 직접 풀어 보면서 이해도를 점검하고 응용력을 높일 수 있는 도서다. 특히, 반도체 제조 공정별로 문제가 정리되어 있어 원하는 부분을 집중적으로 연습할 수 있으며, 다양한 시점으로 반복되는 문제 풀이를 통해 자연스럽게 개념이 정리되며 실전 감각을 키우고 응용력을 늘릴 수 있다는 점이 훌륭하다.
24년도에 출간되었던 초판의 내용을 더 튼튼히 보강하고 문제를 대폭 추가한 이번 개정판은 공정별로 나뉜 각 장을 통해 문제를 풀며 개념을 확립하고, 실제 업무에서 발생할 수 있는 문제 해결 능력을 갖출 수 있어 반도체 관련 업계 취업을 준비하는 이들에게도 강력 추천한다.

  작가 소개

지은이 : 최철종
현재 전북대학교 반도체과학기술학과에 교수로 재직하고 있으며, 반도체 소자와 공정분야에 대한 강의를 위주로 해서 교육을 해오고 있다. 과거 한국전자통신연구원에 입사해 GaAs 화합물반도체 전자소자를 국내에서 개시한 최초의 구성원 이었고, 미국 유학파견기간에는 GaN 분야를 전공하여 박사학위를 취득했다. 다시 연구원으로 복귀한 후에 SiGe 반도체를 위주로 개발업무를 수행했으며, 2004년 전북대학교로 이직하여 SiGe, GaN, Ga2O3의 화합물반도체 분야에 지속적으로 집중하면서 연구와 교육을 이행하였다.주 전공은 반도체 소자와 공정이다. 반도체의 시조이며 주축인 실리콘반도체를 포함해서 화합물반도체를 이용하여 정전기방호 소자, 광소자, 전력소자, RF 소자와 같이 다양한 소자를 설계하고 개발하는데 가장 관심이 많다.

지은이 : 심규환
(현) (주)시지트로닉스(SIGETRONICS) 대표(현) 전북대학교 반도체학과 교수(전) 한국전자통신연구원 책임연구원

  목차

제1장 | 반도체 기초
제2장 | 산 화
제3장 | 확 산
제4장 | 이온 주입
제5장 | 박막 증착
제6장 | 리소그래피
제7장 | 식 각
제8장 | 금속 배선
제9장 | 소자 공정
제10장 | 패키징

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